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高精度厚度测量

CL-3000系列可进行高精度厚度测量，甚至可用于镜像表面，如晶圆片。内置的对准功能有助于优化设置，使CL-3000可以通过目标振动或倾斜提供稳定的厚度测量。

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CL-3000系列共焦位移传感器目录[PDF:5.38MB]