形状 /配置文件

在触摸面板上测量细节，无论共聚焦传感器的表面饰面如何。具有3.5μm的光束斑点，即使是最小的特征也可以测量。

轮廓轮胎胎面和侧壁，带有多个2D激光剖面。

蚀刻后，测量晶圆上特征的台阶高度。使用3D干涉法，可以准确测量镜面的表面。

使用2D Thrubeam传感器，可以在高速时对内联检查医疗气球。

缠绕后检查层压未对准。LJ-X8000系列的最小X分辨率为2.5μm0.000098”，准确地测量了每个电极的轮廓。

提供有关层压前电极断开位置的反馈。准确获取电极端子的轮廓以对边缘位置进行高临界性检查。

测量晶圆边缘的轮廓。通过选择一种检查工具，例如高度差/宽度或角度，用户可以轻松启动测量。使用3200点/配置文件捕获的高分辨率图像实现了传统方法不可能的高度精确曲线测量。

使用最大宽度为720 mm的蓝色激光器进行膜曲率和皱纹测量。由于CMOS传感器的广泛动态范围，即使对于透明目标，也可以进行测量。