原子力显微镜（AFM）
这原子力显微镜（AFM）测量使用尖端和样品之间的原子力来测量样品的粗糙度。为了进行测量，用户将悬臂移动，其端部配备有尖锐的尖端（探针），进入样品表面的距离到几纳米的距离。为了在尖端和样品之间保持恒定力（悬臂的恒定偏转），AFM在扫描时向压电扫描仪提供反馈。测量作为对压电扫描仪的反馈提供的位移以获得Z轴向位移，其表示表面结构。
测量压电扫描仪位移的常用方式是采用光学杠杆方法，其中激光束在悬臂的后侧发射，并且通过两段或四段光电二极管检测反射光束。
| 好处 | 缺点 |
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非常小的可测量范围
一个原子力显微镜（AFM）是能够测量微型区域的3D纹理的放大镜观察工具。与扫描电子显微镜不同，它可以在数字值中获取高度数据，这使得样本和数据的定量能够进行后处理。AFM还允许在正常的气氛条件下进行测量，并且没有诸如样品预处理和电导率的需要的延长。然而，另一方面，由于其高分辨率能力，它受到窄测量范围（XYZ）的限制。AFMS也经常无法将其探针准确地定位到测量区域，并且需要需要知识渊博的操作（适当安装悬臂等）
