并排比较粗糙度测量仪器
市场上有各种测量工具,用于分析和评估表面粗糙度和形状。
介绍表面粗糙度测试仪、原子力显微镜等典型接触式测量仪器和白光干涉仪、激光扫描显微镜等非接触式测量仪器的原理和特点。
方法 | 联系 | 非接触式 | ||
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测量仪器 | 接触式 粗糙度测量仪 |
原子力显微镜 (AFM) |
白光 干涉仪 |
激光 显微镜 |
测量分辨率 | 1海里 | < 0.01海里 | < 0.1海里 | 0.1纳米 |
高度测量范围 | 高达1毫米 0.04” |
< 10μm < 0.39毫升 |
<几毫米 <一英寸的几分之一 |
< 7毫米 < 0.28” |
可测量的范围 | 几毫米 一英寸的几分之一 |
1 ~ 200 μm 0.04至7.87 Mil |
40 μm ~ 15mm 1.57 Mil至0.59” |
15 μm ~ 2.7 mm 0.59 Mil至0.11” |
角特性 | - - - - - - | 可怜的 | 公平 | 好 |
数据解析 | - - - - - - | VGA | VGA | SXGA |
测量网站定位 | - - - - - - | 可选 | 内置光学相机 | 内置光学相机 |
破坏样品 | 联系 | 联系 | 非接触式 | 非接触式 |